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目前國內在經濟部技術處大力支持下，由中科院材電所進行6吋碳化矽晶圓開發。隨著5G應用市場起飛，可應用於毫米波頻段、高導熱、半絕緣碳化矽單晶晶圓預期將成為新世代功率放大器之最快達到商品化之基板材料。

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寬能隙半導體之碳化矽晶圓為關鍵電子材料，具有高功率、耐高壓、耐高溫等綠能節能的特性，是節能及車用電子產業相當重要的功率元件材料，為取代矽晶圓之第三代半導體材料，並被美、日、歐、中國大陸等列為戰略性關鍵材料，我國也將此材料列入政策性發展項目因碳化矽高純度粉體、晶圓製程、晶體成長等關鍵技術皆掌握在國外大廠，但隨著半導體技術提升、價格競爭激烈，4吋碳化矽晶圓需求將逐漸飽和，6吋晶圓將會是2017年以後市場主流。

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中科院表示，航空研究所開發的「微渦輪發電系統」，是將軍事上飛彈及靶機之推力引擎轉變為發電引擎，將之應用於工業節能領域，可產生穩定基載電力，未來可併聯產生MW等級電力。微渦輪發電系統亦可使用於沼氣/天然氣發電，做為再生能源的發電機。該系統的開發，除有利於國內精密製造、航太相關產業的技術提升，未來更具有可觀之產業效益。

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由飛彈火箭研究所開發的「汰役鋰電池線上監控模組」，具可攜式電池診斷裝置，針對電池健康狀態（SOH）的診測，裝置內建微控制器系統與微型電子負載，可直接連接電池組，由微控制器控制電池測試所需之放電電流波形，電池組內各電池的放電響應可由電池管理系統直接量測取得，再由本裝置進行電池組內各電芯的健康狀態診斷，可應用於大批量快速檢測電動車汰役電池分級等實務作業。

在發展石墨烯材料技術上，中科院化學研究所開發的石墨烯混合型超級電容，主要是應用於混合電源系統、再生能源儲能系統、高功率脈

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衝電源，其具有高能量密度、高功率密度、快速充放電、高循環壽命、無污染、免維護等優點，可有效改善現今活性碳超級電容能量密度與功率密度偏低的問題。

材料暨光電研究所展示的「可撓式CIGS薄膜太陽電池」可提供軍民兩用電子零件、照明設備之即時電源。產品具有輕量化、可撓化之特性，可結合背包、帳篷、車輛等，作為電力來源，提高人員作戰及救災靈活度，減少電池重量，降低人員負荷。

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目前中科院材電所已投入4吋半絕緣碳化矽晶圓開發、未來將繼續開發6吋半絕緣碳化矽晶圓，及早將關鍵碳化矽晶圓技術導入產業供應鏈，以提昇整體競爭力。在半絕緣碳化矽晶圓之驗証方面，將建立國內高頻通訊晶圓驗証平臺，及建置高頻通訊晶圓及元件驗証鏈，以健全國內高頻通訊產業自製供應鏈。

中科院在堅實的國防能量基礎下，整合軍、民用科技，致力於綠能產電、先進材料及智慧光電的發展，未來仍將持續發展重點領域所需關鍵技術，透過與國內產學研各界的交流互動，協助產業界技術升級及創新應用，共同為國家經濟發展貢獻心力。

軍聞社／記者吳東昇報導

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國家中山科學研究院參與「2017年台北國際光電週」展覽，即起至16日在世貿南港展覽館，由航空、飛彈火箭、化學、材料暨光電等研究所，以及軍民通用中心共同展出，包括「綠能產電」、「先進材料」及「智慧光電」等三大領域，計有19項豐富多元的研發成果。

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